Ερευνητικά  
Προγράμματα   
     

ΣΥΜΜΕΤΟΧΗ ΣΕ ΕΡΕΥΝΗΤΙΚΑ ΠΡΟΓΡΑΜΜΑΤΑ

1) "Μελέτη TMOS σε πολύ χαμηλές θερμοκρασίες".

Ινστιτούτο Επιστήμης Υλικών, ΕΚΕΦΕ "ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ" (1986-1988).

2) "Αποστασιόμετρο LASER ".

Κέντρο Έρευνας Τεχνολογίας Στρατού (1992-1993).

3) "Ανάπτυξη ρητινών μεγάλης ευαισθησίας για νανολιθογραφία".

Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής, ΕΚΕΦΕ "ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ" (1993-1996).

4) "Ολοκληρωμένοι αισθητήρες αερίων και ροής αερίων".

Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής, ΕΚΕΦΕ "ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ" (1993-1996).

5) "Μέταλλα επαφών και διασυνδέσεων".

Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής, ΕΚΕΦΕ "ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ" (1993-1996).

6) "Χημική εναπόθεση υμενίων από ατμό (XEA, CVD)".

Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής, ΕΚΕΦΕ "ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ" (1993-1996).

7) "Ανάπτυξη και εφαρμογές υπεραγωγών υψηλών θερμοκρασιών".

Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής, ΕΚΕΦΕ "ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ" (1996-1997).

8) "Construction and testing of a plasma sputter apparatus for the production of cluster-composed, new generation, metallic and ceramic materials".

Ινστιτούτο Πυρηνικής Φυσικής και Υψηλών Ενεργειών, ΕΚΕΦΕ "ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ" (1997).

9) "Κατασκευή νανοδομών με λιθογραφία και εγχάραξη σε πλάσμα: Μελέτη του φαινομένου της τραχύτητας".

Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής, ΕΚΕΦΕ "ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ" (1998-1999).

10) "Επιφανειακή κατεργασία πολυμερικών υλικών σε ηλεκτρικές εκκενώσεις πλάσματος: Εφαρμογή στην μικροηλεκτρονική και στην νανοτεχνολογία".

  • ΕΚΕΦΕ Δημόκριτος, Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής. 
  • Eθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο, Τμήμα Χημικών Μηχανικών.
  • Τεχνολογικό Εκπαιδευτικό Ίδρυμα Αθήνας, Τμήμα Ηλεκτρονικής.

(ΓΓΕΤ, ΠΕΝΕΔ 1999, 2000-2001, Επιστημονικός Υπεύθυνος στην ομάδα του ΤΕΙ Αθήνας).

11) "Κατασκευή πρότυπου συστήματος μικροσκοπίου σάρωσης φαινομένου σήραγγας ( Scanning Tunneling Microscope, STM)".

  • Τμήμα Ηλεκτρονικής, ΤΕΙ Αθήνας
  • Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής, ΕΚΕΦΕ «ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ»
  • Ινστιτούτο Επιστήμης Υλικών, ΕΚΕΦΕ «ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ»

(ΤΕΙ Αθήνας, 2000-2001, Επιστημονικός Υπεύθυνος)

12) "Ανάπτυξη συσκευής DRM για τον έλεγχο της λιθογραφίας στην κατασκευή Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων".

  • Τμήμα Ηλεκτρονικής, ΤΕΙ Αθήνας
  • Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής, ΕΚΕΦΕ «ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ»

(ΤΕΙ Αθήνας, 1998-1999, Επιστημονικός Υπεύθυνος).

13) "RESIST 193-157, Photoresist development for 193nm lithography and below".

(Ευρωπαϊκή Ένωση, ESPRIT 33562, 1999-2001).

14) "Critical Resist and Processing Issues at 157nm Lithography addressing the 70nm node (157 CRISPIES)".

(Ευρωπαϊκή Ένωση, IST 2000-30143, 2001-2004).

15) FRENDTECH  "Front-End Models for Future Technology"

(Ευρωπαϊκή Ένωση, IST 2000 Project No. 30129).

16) "Τεχνολογία Μικρομηχανικής παχέων πολυμερικών υμενίων με χρήση λιθογραφίας δέσμης πρωτονίων (HARM.PB)".

(ΓΓΕΤ, Διακρατικό Ερευνητικό Πρόγραμμα, 2004 - 2006 (Ελλάδα - Ουγγαρία), Επιστημονικός Υπεύθυνος στην ομάδα του ΤΕΙ Αθήνας).

17) "Χαρακτηρισμός υλικών, βελτιστοποίηση διεργασιών και ανάπτυξη λογισμικού για την κατασκευή νανοδομών".

(Υπουργείο Παιδείας, ΕΠΕΑΕΚ ΙΙ, Ενίσχυση Ερευνητικών Ομάδων στα ΤΕΙ, 2004-2006, Επιστημονικός Υπεύθυνος).

18) "Βελτιστοποίηση του τρόπου μεταφοράς γεωμετρικού σχεδιασμού στα ενεργά υμένια των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων με λιθογραφία και εγχάραξη".

(ΤΕΙ Αθήνας, 2005-2006, Επιστημονικός Υπεύθυνος).

19) "Αντιστροφή της μαγνητικής κατάστασης σε μαγνητικά σύρματα νανομετρικών διαστάσεων που προκαλείται μόνο από την πυκνότητα του ηλεκτρικού ρεύματος".

(Υπουργείο Παιδείας, ΕΠΕΑΕΚ ΙΙ, Ενίσχυση Ερευνητικών Ομάδων στα Πανεπιστήμια, 2005-2007, Επιστημονικός Υπεύθυνος στην ομάδα του ΤΕΙ Αθήνας).

20) "Κατασκευή μεταλλικών νανοδομών μεγάλου ύψους με τη χρήση λιθογραφίας δέσμης πρωτονίων (PB.NANO)".

(ΓΓΕΤ, Διακρατικό Ερευνητικό Πρόγραμμα (Ελλάδα - Σιγκαπούρη), Επιστημονικός Υπεύθυνος στην ομάδα του ΤΕΙ Αθήνας).

21) "More Moore".

(Ευρωπαϊκή Ένωση, ΙST-1-507754-IP Project No. 1130).